CNT080908PA01101
低壓電漿低壓電漿低壓電漿低壓電漿設備設備設備設備CNTCNTCNTCNTPPPPAAAA00001111
操作手冊操作手冊操作手冊操作手冊
版版版版 66665555 版版版版
馗鼎奈米科技股份限公司
710 台南縣永康市亞太工業區中正路 279 巷 21 弄 59 號
TEL：062323927 FAX：063013155 Creating Nano Technologies
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TEL +88662323927 FAX+88663013155 版 00
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聲明聲明聲明聲明
操作手冊僅供購買單位機台操作時全部部分複製轉載操作手冊
手冊內容將來變更恕行通知
未經原廠意私拆卸變更機台造成損壞公司予負責
安全須安全須安全須安全須知知知知
1 請注意安全正確產品對生命財產安全危害防範未然 請務必遵守
項安全注意事項
2 請務必解圖形表示意思後 閱讀文內容
圖表示 高壓電危險 請勿 遭電擊死亡
圖表示 當操作 造成員重傷死
亡設備毀損
圖表示 當 造成員輕傷設備損
壞
圖表示 禁止拆卸免造成設備毀損
圖表示 高溫區域 請勿碰觸 免燙傷
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安全注意事項安全注意事項安全注意事項安全注意事項
1111 設備工作中機台內電極部份含高達 3 千伏特瞬間電壓操
作中禁止開機台內部碰觸電緣接點
2222 進行維修相關作業時務必關閉來源電源
1111 維修時需活電進行請聯絡原廠維修並避免金屬物品(手
工具)碰觸設備接點
2222 設備工作電壓為(220 V 5060 Hz 50A) 請先確認來源電壓
無誤後開啟電源避免造成設備損壞工安事件
1111 腔體(chamber)內長時間工作會產生 60~70 ﾟ C 溫度需注意
碰觸時反應造成危險(物品掉落)
1111 啟動機台前詳細檢查電路接頭否正確接妥
2222 將電極短路避免觸電回路短路造成元件損壞
3333 機台操作中拆卸電引路
4444 機台操作中隨意搖晃機台
5555 清理腔體內部時應確定電源確實處於關閉狀態
6666 電線破損情形應立處理（絕緣膠帶包緊更換
電線）
7777 日操作結束後將腔體（chamber ）維持真空狀態
8888 設備適合具腐蝕性氣體請勿腐蝕性氣體避
免元件受侵蝕
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目錄目錄目錄目錄
第章第章第章第章 概概概概
公司簡介公司簡介公司簡介公司簡介 6666
產品介紹產品介紹產品介紹產品介紹 6666
電漿介紹電漿介紹電漿介紹電漿介紹 7777
類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹 7777
第二章第二章第二章第二章 規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求
電漿設備規格電漿設備規格電漿設備規格電漿設備規格 8888
廠務需求廠務需求廠務需求廠務需求 8888
第三第三第三第三章章章章 安裝接線安裝接線安裝接線安裝接線
安裝注意事項安裝注意事項安裝注意事項安裝注意事項 9999
設備簡介設備簡介設備簡介設備簡介 10101010
腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路 11111111
閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件 12121212
閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖 14141414
配電盤配置配電盤配置配電盤配置配電盤配置 15151515
電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線 16161616
幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線 17171717
氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路 18181818 Creating Nano Technologies
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第四第四第四第四章章章章 系統系統系統系統操作說明操作說明操作說明操作說明
操作注意事項操作注意事項操作注意事項操作注意事項 11119999
手動手動手動手動畫面畫面畫面畫面 20202020
動模式動模式動模式動模式 22222222
參數參數參數參數設定設定設定設定 22223333
系統檢測系統檢測系統檢測系統檢測 24242424
異常訊息異常訊息異常訊息異常訊息 28282828
資訊資訊資訊資訊 29292929
密密密密碼碼碼碼設定設定設定設定 30303030
機械設定機械設定機械設定機械設定 31313131
漏率偵測漏率偵測漏率偵測漏率偵測 32323232
低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖 33333333
低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖 34343434 Creating Nano Technologies
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第五第五第五第五章章章章 設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養
變頻器變頻器變頻器變頻器 38 38 38 38
幫浦保養幫浦保養幫浦保養幫浦保養 40404040
壓力計壓力計壓力計壓力計與壓力感測器與壓力感測器與壓力感測器與壓力感測器 41414141
真空元件保養真空元件保養真空元件保養真空元件保養與與與與流量計流量計流量計流量計 43434343
第第第第六六六六章章章章 錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排
障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解 43434343
附錄附錄附錄附錄零件清單零件清單零件清單零件清單 55550000
附錄二附錄二附錄二附錄二工圖工圖工圖工圖 55553333
第章第章第章第章 概概概概
公司簡介公司簡介公司簡介公司簡介
馗鼎奈米科技技術團隊電漿領域研發已十餘年歷史國內對於電漿技術開Creating Nano Technologies
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發說位於領導位目前已國內常壓電漿設備生產製造商產品穩定性
度深獲面板廠肯定截目前為止已獲面板廠量效提升面板生產良
率信賴度
公司具全世界首屈指電漿與鍍膜專業技術專長於 IC光電與通訊製程技術與
設備研發客戶領域鎖定光電（液晶顯示器機發光二極體）半導體（ IC
電子封裝）印刷電路板精密機械（模具工具鍍膜）光纖通訊微機電等產業提供
未來快速成長電子資訊產業關鍵技術
公司定位於研究開發與技術創新公司開發建立台灣光電光學精密機械IC
封裝資訊關鍵技術公司目標與利基為達技術領先永續經營目
標們將斷研發提升產品性為提升國內產品研發力競爭性們
積極與國內學術界研發機構合作將具應性研發成果商品化
產品介紹產品介紹產品介紹產品介紹
公司技術團隊行開發光電半導體封裝鍍膜設備與開發新製程與技術 已研
發產品
1種寬幅式與點狀式常壓電漿（氣電漿）設備
2 低壓電漿清洗設備
3電漿化學氣相沈積系統
4 類鑽碳鍍膜系統
5 光電薄膜蒸鍍設備
6 類鑽碳（DLC）薄膜鑽石薄膜氮化鈦（T iN）氧化鈦（T iO 2 ）鉻（Cr ）薄膜
7 水滴角量測儀
8 微氧分析儀
需更步解產品特性需更步解產品特性需更步解產品特性需更步解產品特性 請進入公司網站請進入公司網站請進入公司網站請進入公司網站
網址網址網址網址 httpwwwcreatinghttpwwwcreatinghttpwwwcreatinghttpwwwcreatingnanotechcomnanotechcomnanotechcomnanotechcom Creating Nano Technologies
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電漿介紹電漿介紹電漿介紹電漿介紹
正常生活中常接觸電漿太陽日光燈霓虹燈閃電等類對電漿
第印象團會發光東西
謂電漿種帶電子正負電荷離子中性氣體分子基組成正常
情況呈電中性陸區科學家稱為等「等離子體」取帶正電荷離
子數目與帶負電荷（電子）數目相等意
電漿態氣液固三態外發現物質存種狀態整個宇宙來說物質
電漿存例高
電漿途廣泛常壓電漿產生高溫高應溶融噴塗燃燒輔助化學
反應等低溫電漿應清潔製程活化材料表面形成官基應電子業製程潔
淨蝕刻輔助化學反應等量應高分子材料前處理聚合作然電漿
衡狀態物理參數需加控制電漿對基材產生佳
預期化學作
類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹
類鑽碳(石)薄膜為碳原子少量氫原子鍵結組成非晶質(沒結晶)薄膜 於原
子直徑排列非常緻密單位體積內價鍵結數目較成為硬度僅次於鑽石
材料為達化學穩定消表面懸空鍵薄膜表面原子常雙鍵形式存
碳碳雙鍵非常穩定結構類鑽碳薄膜表面反應性低（較沾粘）摩擦係數
非常適合應模具需耐磨耗方外於類鑽碳薄膜為非結晶態
容易基材沉積非常滑薄膜非常適合於光學鏡面模具表面披覆
類鑽碳薄膜化學穩定性極佳耐酸鹼非常適合應具腐蝕性環境
於類鑽碳薄膜室溫製備製備類鑽碳膜過程中會為熱變形造成模
具損壞 Creating Nano Technologies
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第二章第二章第二章第二章 規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求
低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表
控台控台控台控台(Option：Touch Panel)
項 目 單位 規 格
尺寸( Wx H x D) mm 1195 x1195 x22 4 6
重量 Kg 4 50
電壓 V AC220 三相+接線
頻率 Hz 50~60 Hz
電流 A 50A
接電阻 Ω < 5 Ω
CDA 入口壓力 Kgf cm 2 4 ~6 Kgf cm 2
GN 2 入口壓力 Kgf cm 2 < 1 Kgf cm 2
製程氣體入口壓力 Kgf cm 2 1~3 Kgf cm 2 (ArH2 N 2 O 2C D A)
排氣量 Lm i n M a x 100Lm i n N o rma l 1Lm i n
廠務需求廠務需求廠務需求廠務需求
項目 需求 規格 備註
1 供應交流電源 AC220V( 三相)50A + 接線
2 PUMP 排氣系統 2 英吋排氣連接廠務排氣 連接廠務排氣系統
3 抽氣量 M a x 100 Lm i n
4 維修空間 90cm
5 製程氣體
壓力 1~3kg cm 2
徑 4 x 6mm
加裝調壓閥
廠方製程需求供應
(ArH2 N 2 O 2C D A)
6 廠務 N 2 壓力 05~1 kg cm 2
徑 5 x 8 mm
幫浦需求氣體
(製程氣體需求供應)
7 廠務 CD A 壓力 4 ~6 kg cm 2
徑 5 x 8 mm
設備閥門破氣需求
氣體
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第三章第三章第三章第三章 安裝接線安裝接線安裝接線安裝接線
安裝安裝安裝安裝注意事項注意事項注意事項注意事項
注意事項
1 安裝機台前必需詳細閱讀手冊元件原廠說
明書並特別注意標示危險注意方
2 安裝後請確定機械幫浦機械幫浦機械幫浦機械幫浦魯式幫浦魯式幫浦魯式幫浦魯式幫浦轉否正確(幫浦
箭頭標示方)正確請將三相 220 v 電源線紅黑兩
條線對調對調後請測試(安裝介紹幫浦接線安裝)
3 機台原廠進行安裝別元件需重新安裝時安
裝詳細步驟注意事項請參考原廠說明書
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設備簡介設備簡介設備簡介設備簡介
三色燈三色燈三色燈三色燈
控制面版控制面版控制面版控制面版
EMO 緊急停止緊急停止緊急停止緊急停止
腔體腔體腔體腔體
Barcode
掃描機掃描機掃描機掃描機 Creating Nano Technologies
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腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路
路實圖路實圖路實圖路實圖
閥 Creating Nano Technologies
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閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件
元件名稱元件名稱元件名稱元件名稱 元件功元件功元件功元件功 元件元件元件元件常遇問題排方式常遇問題排方式常遇問題排方式常遇問題排方式 元件圖片元件圖片元件圖片元件圖片
電磁閥電磁閥電磁閥電磁閥 訊號控制出氣口
動作右圖 1 為
常閉接點氣體輸
出(訊號動作)2
為常開接點氣體
輸出(時氣體
輸出訊號關閉)
ㄧ般發生問題時為無動作情
形較時先強制手動裝置
運轉還無動作時
請通知廠商處置並告知現行
狀況
氣動閥氣動閥氣動閥氣動閥 透過電磁閥輸出氣
體控制氣動閥動作
(氣體輸入控制氣
動閥開啟)
這種元件控制氣體開閉為
無動作發生時
行更換新品並請通知廠商告
知現行狀況
角閥角閥角閥角閥
((((閥閥閥閥))))
透過電磁閥輸出氣
體控制閥門動作
右圖 1 輸入氣體
時閥門關閉2輸入
氣體時閥門開啟
1 般為路連接處鬆脫
破損需更換路重新
檢查
2 為角閥身動作問
題時(無法推定位
等……)勿行更換新品並
請通知廠商處置並告知現行
狀況
調壓閥調壓閥調壓閥調壓閥 調整輸入氣體進
氣壓力(單位kgf )
腔體破氣調壓閥
設 5 kgf 幫浦
pu r g e 調壓閥接
氮氣設 1 kgf ( 幫浦
pu r g e 氮氣視狀
況接接)
1需將調整處拉出旋轉
調整壓力值無法調整時建
議更換新品避免造成機台端
CD A 壓力足
2調壓閥調整鈕錶頭已
無法動作時請盡速更換新
品利機台運轉
1111 2222
1
2 Creating Nano Technologies
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元件名稱元件名稱元件名稱元件名稱 元件功元件功元件功元件功 元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式 元件圖片元件圖片元件圖片元件圖片
二點式三二點式三二點式三二點式三
點組合調點組合調點組合調點組合調
壓閥壓閥壓閥壓閥
調整供應電磁閥
氣體壓力設 5 kgf
供應氣體會注入
許潤滑油潤滑電
磁閥機構調壓閥
方加 fl i t er
過濾輸入氣體
調壓閥調整鈕錶頭已無
法動作時請盡速更換新品
利機台運轉
流量計流量計流量計流量計 控制製成氣體流量
輸入值調整
範圍為流量計額定
範圍 0~50 s ccm
0~500 s ccm
M FC 進口壓力需
2~3kg cm 2 間太高太低
皆會造成流量穩甚損
壞當校正曲線偏移超過 10
時需送 M FC 原廠校正
壓力感測壓力感測壓力感測壓力感測
開關開關開關開關
於偵測腔體內部
粗略壓力做為內
部 PLC 判斷控制
途
1為螢幕無法顯示時請先
查詢線路部分
2 SENSOR 設定值請勿隨意更
改避免造成運轉產生問題
3 當元件已完全無法動作
行更換新品並請通知廠商處
置並告知現行狀況
壓力計壓力計壓力計壓力計
((((ConvectronConvectronConvectronConvectron ))))
偵測腔體內部壓力
值
請注意線路接頭處般為
接觸良造成無動作處裡後
無法動作 請通知廠商處
置並告知現行狀況
測量範圍 1mto rr
10 3to rr
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閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖
電磁閥說明電磁閥說明電磁閥說明電磁閥說明
電磁閥電磁閥電磁閥電磁閥#### 控制元件控制元件控制元件控制元件功功功功 備註備註備註備註
電磁閥 1 控制閥開啟關閉 出氣端連接閥
電磁閥 2 開啟幫浦破氣氣動閥 執行幫浦與路破氣
電磁閥 3 — 預留
電磁閥 4 — 預留
電磁閥 5 — 預留
電磁閥 6 — 預留
電磁閥順序：右左電磁閥 1電磁閥 6 Creating Nano Technologies
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配電盤配置配電盤配置配電盤配置配電盤配置
機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源 3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 55550A0A0A0A
配電盤配置說明配電盤配置說明配電盤配置說明配電盤配置說明
編號編號編號編號 名稱名稱名稱名稱 功功功功
1111 訊號控制模組訊號控制模組訊號控制模組訊號控制模組 控制訊號輸入輸出
2222 系統系統系統系統 RELAYRELAYRELAYRELAY 控制系統接點動作與保護
2
1 Creating Nano Technologies
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電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線
說明說明說明說明 圖示圖示圖示圖示
系統斷路器來源電源輸入處供應配電盤
與控制部電源部電壓
(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 55550A0A0A0A))))
電磁接觸器
1 M C1 配電盤跳脫保護
(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 設定值設定值設定值設定值 26262626AAAA))))
2 M C2 機械幫浦來源電壓機械幫浦跳脫
保護(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 設定值設定值設定值設定值 26262626AAAA))))
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幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線 Creating Nano Technologies
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幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線
說明說明說明說明 圖示圖示圖示圖示
右 圖 紅 色 框 線 部 份 為 機 械 與 魯 式 幫 浦
3 Ø 220V 電源輸入端接法框線右方為 3 8 0V
輸入電壓接法 R S T 對應 U V W
右圖為幫浦接線實際圖紅色框線部分為電
源輸入處
幫浦外部接線實圖蛇電源線接 M C2 M C3
來源電壓
紅色框線部分為幫浦排氣路
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氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路
氣體輸入說明氣體輸入說明氣體輸入說明氣體輸入說明
編號編號編號編號 輸入氣體輸入氣體輸入氣體輸入氣體
1111 輸入空氣作為電磁閥與氣動閥動作氣體
2222 輸入氮氣降低幫浦氧氣濃度減低幫浦油氧化速度 (視狀況接
接)
3333 輸入製程氣體接流量計 1
4444 預留氣體輸入接頭
5555 預留氣體輸入接頭
1
2
3 4
5 Creating Nano Technologies
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第四章第四章第四章第四章 系統操作說明系統操作說明系統操作說明系統操作說明
操作注意事項操作注意事項操作注意事項操作注意事項
注意事項
1 操作機台前必需詳細閱讀手冊並特別注意標示危險
注意方
2 非機台相關員請勿意操作機台
3 操作前請確認需工作氣體路已經開啟
4 非必盡量將安全開關與警報器 b y p a ss
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手 動手 動手 動手 動 畫 面畫 面畫 面畫 面
進 入 手 動 畫 面 後 直 接 點 選 相 關 暖 機 選 項 機 台 工 作 前 需 先 進
行 0 5 分 鐘 暖 機 時 機 械 幫 浦 會 對 路 做 初 抽 負 壓 避 免
壓 力 關 係 油 氣 逆 衝 腔 體 需 密 碼 設 定 選 項 登 入 者
未 登 入 夠 執 行 動 模 式 與 觀 異 常 訊 息 進 行 暖 機 功 登
入 後 執 行 選 項
1 1 11 壓 力 計壓 力 計壓 力 計壓 力 計 顯 示 目 前 腔 體 內 壓 力 值 壓 力 計 讀 值 範 圍 為 0 〜 1 0 3
T o r r 需 腔 體 後 側 左 方 數 位 顯 示 壓 力 開 關 壓 力 值 低 於
限 壓 力 計 與 腔 體 間 氣 動 閥 會 開 啟 偵 測 腔 體 內 壓 力
2 2 22 閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體 當 作 動 時 抽 氣 路 部 份 會 變 為 黃 色 機 械 幫 浦 魯
式 幫 浦 互 鎖 ( 魯 式 幫 浦 作 動 必 須 機 械 幫 浦 已 作 動 狀 況
) 閥 開 啟 狀 態 無 法 進 行 破 氣 動 作 閥 關
閉 狀 態 無 法 開 啟 製 程 氣 體
3 3 33 製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體 為 產 生 電 漿 氣 體 直 接 點 取 螢 幕 設 定 值 設 定 流
量 設 定 時 需 先 將 氣 體 關 閉 設 定 流 量
4 4 44 電 源電 源電 源電 源 顯 示 目 前 電 漿 功 率 ( 功 率 流 量 壓 力 直 接 影 響 電 漿 效
)
5 5 55 氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示 顯 示 目 前 氣 動 閥 動 作 狀 態 反 黃 代 表 開 啟 狀 態
6
4 1 8 5
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6 6 66 計 時計 時計 時計 時 計 算 製 程 中 時 間 必 需 行 手 動 執 行 開 始 結 束 與 歸
零
7 7 77 流 量 設 定流 量 設 定流 量 設 定流 量 設 定 設 定 通 入 製 程 氣 體 流 量
手 動 模 式 直 接 控 制 幫 浦閥 門製 程 氣 體 流 量 開 關 電 漿 動 作
直 接 點 選 方 藍 色 方 塊 來 做 開 關 動 作
8 8 88 回 傳 值回 傳 值回 傳 值回 傳 值 製 程 氣 體 回 傳 值
9 9 99 單 動 選 項單 動 選 項單 動 選 項單 動 選 項
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動 模 式 動 模 式 動 模 式 動 模 式
1 1 11 製 程 組 別製 程 組 別製 程 組 別製 程 組 別 套 參 數 設 定 裡 已 設 定 參 數 ( ： 氣 體 流 量 相
關 壓 力 值 ) 進 行 相 關 製 程 參 數 組 別 旁 黃 色 方 塊 為 參 數 說
明
2 2 22 壓 力 計壓 力 計壓 力 計壓 力 計 顯 示 目 前 腔 體 內 壓 力 值
3 3 33 閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體 顯 示 目 前 抽 氣 路 狀 況 當 動 作 時 抽 氣 部 份 會 變 為
黃 色
4 4 44 製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體 為 產 生 電 漿 解 離 氣 體 參 數 設 定 內 設 定 少 流
量
5 5 55 電 源電 源電 源電 源 顯 示 目 前 電 漿 功 率 ( 功 率 流 量 壓 力 直 接 影 響 電 漿 )
6 6 66 氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示 顯 示 目 前 氣 動 閥 動 作 狀 態反 黃 代 表 開 啟 狀 態
7777 計 時計 時計 時計 時 s t a r t 開 始 清 潔 流 程 並 計 算 從 抽 氣 點 電 漿 破 氣 製 程
總 時 間 s t o p 為 中 斷 製 程 動 作 畫 面 頁
參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定
3
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參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定
參數設定裡設定 50 組參數值組別設定背壓製程氣體流量
清潔時間參數說明當新設定修改組參數值時先點選設定修改組別
進行參數設定設定完後必須確定鍵儲存目前設定值當選擇組別時
製程組別裡點選需組別後確定鍵儲存目前選取組別
系 統 檢 測系 統 檢 測系 統 檢 測系 統 檢 測 Creating Nano Technologies
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輸 入 訊 號輸 入 訊 號輸 入 訊 號輸 入 訊 號
處 為 系 統 回 傳 訊 號 顯 示 圖 部 位 作 動 狀 況 作 動 時 燈
號 為 紅 色 未 作 動 時 為 白 色 ：
動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 訊 號 啟 動 為 紅 色 未 啟 動 為 白 色
壓 力壓 力壓 力壓 力 SENSORSENSORSENSORS E N S O R 限 限 限 限 腔 體 氣 壓 力 作 動
壓 力壓 力壓 力壓 力 SENSORSENSORSENSORS E N S O R 限 限 限 限 腔 體 真 空 狀 態 作 動
機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號 ( 電 磁 開 關 作 動 )
魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測 魯 式 幫 浦 啟 動 訊 號 ( 電 磁 開 關 作 動 )
機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測 機 械 幫 浦 積 熱 電 驛 跳 脫 回 傳 訊 號幫 浦 停 止 作
動
魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測 魯 式 幫 浦 積 熱 電 驛 跳 脫 回 傳 訊 號幫 浦 停 止 作
動
磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關 ____ 鈑 金鈑 金鈑 金鈑 金 外 部 門 板 關 閉 時 作 動 顯 示 紅 色
磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關 ____ 腔 體腔 體腔 體腔 體 關 閉 時 動 作 顯 示 紅 色
高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測 低 於 CD A 限 值 作 動 顯 示 紅 色
功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常 回 傳回 傳回 傳回 傳 發 生 功 率 異 常 回 傳 訊 號 作 動 顯 示 為 紅 色 Creating Nano Technologies
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系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入 系 統 關 機 訊 號 啟 動 為 紅 色 未 啟 動 為 白 色
功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常 功 率 超 過 限 回 傳 功 率 異 常 訊 號
外 部 板外 部 板外 部 板外 部 板 金 偵 測金 偵 測金 偵 測金 偵 測 外 部 門 板 關 閉 時 作 動 顯 示 紅 色
抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 檢 測檢 測檢 測檢 測 ( O N )( O N )( O N )(ON) 作 動 時 顯 示 紅 色 未 動 作 時 顯 示 白 色
抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 檢 測檢 測檢 測檢 測 ( O FF )( O FF )( O FF )(OFF) 作 動 時 顯 示 紅 色 未 動 作 時 顯 示 白 色 Creating Nano Technologies
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輸 出 訊 號輸 出 訊 號輸 出 訊 號輸 出 訊 號
處 為 系 統 輸 出 訊 號 為 系 統 輸 出 部 位 動 作 作 動 時 燈 號
為 紅 色 未 作 動 為 白 色 ：
機 械機 械機 械機 械 幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動 ：：：： 輸 出 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號
魯 式魯 式魯 式魯 式 幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動 ：：：： 魯 式 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號
綠 燈綠 燈綠 燈綠 燈 ：：：： 電 漿 啟 動 時 輸 出 訊 號 綠 燈 亮
黃 燈黃 燈黃 燈黃 燈：：：：當 閥 閥 抽 氣 與 系 統 破 氣 時 輸 出 訊 號動 作 時 燈 號 閃 爍
紅 燈紅 燈紅 燈紅 燈 ：：：： 當 機 台 作 動 異 常 與 腔 體 板 金 未 關 閉 時 動 作 紅 燈 亮
蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器 (((( ))))：：：： 機 台 作 動 異 常 時 發 出 聲 響 與 破 氣 完 成 時 響 3 秒
蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器 (((( ))))：：：： 幫 浦 異 常 輸 出 作 動
電 漿 啟 動電 漿 啟 動電 漿 啟 動電 漿 啟 動 ：：：： 需 REMO T E 狀 態 輸 出 系 統 控 制 部 啟 動 電 漿
風 扇風 扇風 扇風 扇 1111 啟 動啟 動啟 動啟 動 風 扇風 扇風 扇風 扇 1111 啟 動 訊 號
風 扇風 扇風 扇風 扇 2222 啟 動啟 動啟 動啟 動 風 扇風 扇風 扇風 扇 2222 啟 動 訊 號
腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號 腔 體 門 關 閉 時 啟 動
重 置重 置重 置重 置 (RESET)(RESET)(RESET)(RESET) 電 腦 重 置 時 回 覆 訊 號
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 1 (1 (1(1 ( 抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 ))))：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥 閥 開 啟
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 2 (2 (2(2 ( 壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門 ))))：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥 壓 力 計 閥 門 開 啟
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 3 (3 (3(3 ( 幫 浦幫 浦幫 浦幫 浦 破 氣破 氣破 氣破 氣 ))))：：：： 輸 出 破 氣 訊 號 電 磁 閥 幫 浦 破 氣
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 4 (4 (4(4 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 5 (5 (5(5 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 6 (6 (6(6 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留 Creating Nano Technologies
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電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 7 (7 (7(7 ( 流 量 計流 量 計流 量 計流 量 計 1 )1 )1)1 ) ：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 8 (8 (8(8 ( 流 量 計流 量 計流 量 計流 量 計 2 )2 )2)2 ) ：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 9 (9 (9(9 ( 幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣 ))))：：：： 關 機 時 輸 出 幫 浦 破 氣 訊 號
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異 常 訊 息異 常 訊 息異 常 訊 息異 常 訊 息
顯 示 目 前 機 台 狀 況 訊 息 右 方 障 排 障 排 障 排 障 排 清 目 前 已 排
異 常 訊 息
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資訊資訊資訊資訊
記載需保養零組件時數確認保養時數
歷 史 資 訊 設 定 為 將 流 量 計 幫 浦 電 磁 閥 保 養 與 更 換 零 件 後
將 前 總 時 數 目 前 幫 浦 需 定 期 保 養 機 械 幫 浦 設 定
值 定 為 5 0 0 0 時 魯 式 幫 浦 3 0 0 0 時 為 檢 查 幫 浦 潤 滑 油 等
狀 況 需 視 狀 況 更 改 保 養 時 數
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密 碼 設 定密 碼 設 定密 碼 設 定密 碼 設 定
密 碼 變 更密 碼 變 更密 碼 變 更密 碼 變 更 變 更 目 前 者 登 入 密 碼
者 登 入 者 登 入 者 登 入 者 登 入 初 始 密 碼 密 碼 為 0 0 0 0
者 登 出 者 登 出 者 登 出 者 登 出 登 出 者
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機 械 設 定機 械 設 定機 械 設 定機 械 設 定
異常限設定異常限設定異常限設定異常限設定更改畫面屬限值於方出機前已經過審慎檢測
未經方工程員意請勿擅更改避免相關硬體毀損
機械控制設定機械控制設定機械控制設定機械控制設定暫時將畫面機台屬動作關閉
RRRRS232S232S232S232 設定設定設定設定為 barc od e 掃描機相關傳輸設定
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漏 率 偵 測漏 率 偵 測漏 率 偵 測漏 率 偵 測
漏 率 偵 測 為 機 台 腔 體 部 份 行 做 測 漏 並 曲 線 圖 呈 現
計 算 公 式 為 ( P t( P t( P t( P t P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789
P 為 壓 力 單 位 T o r r V 為 體 積 單 位 立 方 公 分
t 為 時 間 單 位 秒 007 8 9 為 固 定 系 數 值
意 謂 腔 體 抽 底 壓 停 止 抽 氣 後 秒 鐘 後 值 減 前 值 總 合
相 減 次 數 * 0 0 7 8 9 V
漏 率 測 試 需 先 將 腔 體 作 2 時 抽 氣 防 止 腔 體 內
殘 存 氣 體 水 氣 影 響 偵 測 值抽 氣 完 後 關 閉 閥 門 進 行 2 時
測 漏 漏 率 需 0 2 (T o r r * c m 3 s e c ) Creating Nano Technologies
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低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統操作操作操作操作流程圖流程圖流程圖流程圖
BREAKER
開啟
MC1 作動
GP&PLC 作動
START
GP 控制
動模式 手動模式 參數設定 機械設定 異常訊息
漏率檢測 密碼設定 狀態 系統檢測 系統檢測 Creating Nano Technologies
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低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統動模式動模式動模式動模式流程圖流程圖流程圖流程圖
選擇參數設
定
設定參數
進入動流程
START
機械 PUMP 持續運轉
時間否超過 5 分鐘
否
計時 10 秒
開啟閥
計時 5 秒
魯式 PUMP 開啟
偵測壓力值否達
背壓
背壓參數
設定
出現未暖機提示 Creating Nano Technologies
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開啟 MFC
流量參數
設定
開啟電漿
清潔時間計時
清潔時間達關閉
電漿
關閉流量計
計時 5 秒
關閉魯式 PUMP
開啟破氣
清潔時間
參數設定
通入製程氣體與
開啟變頻器穩壓控制
製程氣體
參數設定
偵測壓力值否
達穩壓
穩壓參數
設定 Creating Nano Technologies
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偵測壓力否為 1
氣壓
關閉破氣 Creating Nano Technologies
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第五第五第五第五章章章章 設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養
變頻器變頻器變頻器變頻器面板說明面板說明面板說明面板說明
說明
1 Hz RPM赫茲轉速顯示VOLT電壓顯示FUN功顯示 A MP電流顯示
2 REQ面板控制時亮燈FRQ 反轉正轉接亮燈FWD 反轉時亮燈REV 正轉時
亮燈
3 RUNSTOP 啟動停止
4 FWDREV 正轉逆轉轉換
5 方鍵調整 Hz 功選擇
6 RESET 重置
7 DSPFU N第點功顯示切換
8 READENTER 確認讀取
1 2 3 4 5 6 7 8 Creating Nano Technologies
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常見障指示對策常見障指示對策常見障指示對策常見障指示對策
無法手動復歸無法動復歸障
顯示 內容 異常原 對策
CP F 程式異常 外部雜訊干擾 於產生干擾 M C 線圈並 RC 突
波接收器
EPR EE PRO M 異常 EE PRO M 障 更換 EEPROM
@ OV 停 機 中 偵 測
電壓過高
偵測線路障 變頻器送修
@ LV 停 機 中 偵 測
電壓過低
1 電源電壓過低
2 限流電阻 FUSE 燒斷
3 偵測線路障
1檢查電源電壓否正常
2 換修憲流電阻保險絲
3變頻器送修
@ OH 停 機 中 偵 測
變 頻 器 過
熱
1 偵測線路障
2 週圍過熱通風良
1 變頻器送修
2 改善通風條件
CTER 電 流 感 測 器
偵測錯誤
電流感測元件線路障 變頻器送修
※ @符號為障發生時障接點動作
手動復歸無法動復歸障
顯示 內容 異常原 對策
O C 停 機 中 偵 測
過電流
1 偵測線路障
2 CT 訊號連接良
1 檢查線路否受干擾
2 變頻器送修
O L1 泵浦負載 1 負載太
2 額定電流設定當
1 加泵浦容量
2 說明設定電流值
O L2 變頻器負載 負載太 加變頻器容量
O L3 過轉矩 1負載太
2 過轉矩偵測準位時間
設定太
1 加變頻器容量
2 需設定過轉矩準位時
間
LVC 運 轉 中 電 壓
過低
1 電源電壓過低
2 電源電壓變化過
迴路 RELAY 障
1 改善電流品質調高允許順
停時間
2 設定較長加速時間
3 電源輸入測加阻抗器
4 加變頻器容量
5 變頻器送修
O HC 運 轉 中 散 熱
片過熱
1 負載過
2 周溫過熱通風良
1 檢查負載否異常
2 加變頻器容量
3 改善通風條件 Creating Nano Technologies
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※ 明白處請查變頻器操作手冊
Dr y pu m p (GV 8 0)
項目 週期 說明
1 檢查齒輪油
狀況 星期 觀測孔知目前油位寡 標準油位需 50
(加油量 0 4 L)
2 更換齒輪油
年
(視狀
況
定)
1 當(圖二)視窗油已劣化變色為黃褐色乳白
色必須更換免影響抽氣效率
2 油品規格為 FOMBLIN 256容量為 1L(圖)
(圖) (圖二)
3 廠保養 三年 建議三年回廠作機台整體保養
4 馬達軸承 連續運轉 35000 時需更換否則會造成馬損壞
油加入口
幫浦入油孔幫浦入油孔幫浦入油孔幫浦入油孔
兩孔為相通兩孔為相通兩孔為相通兩孔為相通
油位檢查窗油位檢查窗油位檢查窗油位檢查窗 Creating Nano Technologies
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壓力感測器
1操作方式 視狀況
1 限調整
(1)先▼o r ▲
(2) 畫面將出現 P 1 o r P 2 o r b1 三選項
MOD E 相互切換
(3) P 1：▼o r ▲設定限值(參數)
( 4 )P 2：▼o r ▲設定限值(參數)
(5)b1：恆保持為 0無需調整
(6) 設定完限將畫面停留 P 2數秒後
將動跳回偵測畫面
2 鍵鎖
(1)時住▼+M ODE 三秒→畫面出現L o c
鍵鎖
(2)住▼+M ODE 三秒→畫面出現 un L
鍵解鎖
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質量流量控制器(M FC)
1 流量測試 3 個月
1 3 個月應系統流量測試功進行流量
控制器校正當校正曲線偏移超過 10 時需
送原廠校正
2 M FC 進口壓力需 104 0 ps i 間太
高太低皆會造成流量穩甚損壞
真空腔體真空件
1 腔體與腔門清潔 天
1 酒精丙酮擦試腔體與腔門並注意避
免將溶濟觸碰 Or i ng
2 腔體與腔門間 Or i ng 應定期塗抹真空油
2 分氣裝置 天 視狀況清潔分氣板
3 Or i ng 2 年 2 年更換次
4 電極 天 視狀況清潔電極
5 電引入 視情況 定期更換 Or i ng
6 視窗 視情況 視狀況更換清潔視窗玻璃
7 氣體路 視狀況 視狀況更換
8 C D A 高壓路 2 年 狀況兩年更換次
9 氣動閥 1 年 年測試氣動閥次
10電磁閥 1 年 年測試電磁閥次
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第第第第六六六六章章章章 錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排
障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解
ㄧ異常視窗部分
異常視窗訊息(ㄧ)
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
設定流量
無法達
進氣系統
異常
1機台無接製
程氣體
將製程氣體接頭接機台製程
氣體輸入接頭
2 氣動閥無作動 電磁閥確認氣動閥無作
動障需做更換
3 流量計無作動
將流量計訊號線接頭接並
電路圖接點量測無電
壓輸出入
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異常訊息視窗(二)
RF 反射過
高
接完
整未接
機殼未完成接 接點相關線路確認並將鎖
緊
R F 聯接電
引入路
毀損未
接
連接路目視確認
1確認連接電引入螺絲否
鎖緊
2拆 RF 連接電引入件拆
確認連接部分否焦黑
狀況者請通知設備商處
置
無法動
匹配
匹配箱無法動匹
配 請通知設備商前處置調整
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異常視窗訊息(三)
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
RF 異常 電漿啟動
迴路異常
1電線接觸良 將電漿啟動電源線鎖
次確認沒接頭鬆脫
2電極與腔體導通
1請先將電引路與電極端導
體拆後(拆則會產生
誤判)量測電極高壓測與
腔體否導通則將腔體
移開腔體與電極為開路
狀態
3 POWER 否反應 2 測試否手動開啟電漿
無法開啟請聯絡公司
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二機台相關異常訊息部份
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
乾式幫浦
過負載
(MC1)
線路鬆脫
導致過載
檢查配電盤出線端
PUMP 入線端線路 將相關線路鎖緊手部拉
扯方式確認線鬆緊度 OL 過載 檢查相關線路否
鬆脫
魯式幫浦
過負載
(MC2)
線路鬆脫
導致過載
檢查配電盤出線端
PUMP 入線端線路 將相關線路鎖緊手部拉
扯方式確認線鬆緊度 OL 過載 檢查相關線路否
鬆脫
乾式幫浦
體溫度
過高
冷卻水未
開啟
檢查水路路否
水流存
與廠務端確認並將屬路
拆卸確認
抽氣閥門
異常
ab 接點
路錯接
檢查閥門 s e nso r 位
置
確認抽氣時 s e nso r 訊號動作
動作相反時將路對調
硬體異常 Cyl i nd er 動作異常
路接點壓力確認無誤
c y c l i nd er 無法將閥門推
s e nso r 感應位置請通知設備商
前處置
流量異常
(過高)
線路鬆脫 檢查配電盤相關線
路
線路鬆脫造成 M FC 動作異常檢
查配電盤訊號線相關線路並
鎖緊
硬體異常 MFC 感應異常 線路確認無誤後異常
請通知設備商前處置
流量異常
(過低)
線路鬆脫 檢查配電盤相關線
路
線路鬆脫造成 M FC 動作異常檢
查配電盤訊號線相關線路並
鎖緊
硬體異常 MFC 感應異常 線路確認無誤後異常
請通知設備商前處置
壓力異常
(過高)
變頻器異
常
無法順利控制 r oots
轉動頻率 請通知設備商前處置
漏氣 腔體相關漏氣 確認件否鎖緊件無
漏氣請告知設備商確認
流量計異
常 流量計感應異常
線路確認無誤後已排
異常異常持續時請通知設備
商前處置 Creating Nano Technologies
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障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
壓力異常
(過低)
變頻器異
常
無法順利控制 r oots
轉動頻率 請通知設備商前處置
變頻器異
常
未
畫面顯示 為線路鬆脫 電錶量測輸入電源確認線路
無鬆脫
餘顯示
異常
參考操作手冊提供
異常訊息 請通知設備商前處置
抽氣異常
PUMP 抽氣
效率變差
無法順利抽壓力感
測值設定值
壓力感測器未順利動作請
通知設備商處置
漏氣 腔體相關漏氣
漏氣嚴重時導致 PUMP 無法抽
低壓壓力感測器作動造成
異常請告知設備商確認
破氣異
常
壓力感測
器異常
無法順利達壓力
感測值設定值
壓力感測器未順利動作請
通知設備商更換新品處置
電磁閥異
常 閥門動作異常 非壓力感測器異常部分請通
知設備商更換新品處置
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三異常部分
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
無法抽
真空
抽氣系統
異常
1 腔體門無關緊 將腔體門手拉起與卡榫扣合
2 腔體磁簧開關損
壞
將腔體門關後 PC 螢幕內
系統檢測 i nput 檢查腔體
門偵測否動作無動作
則磁簧開關已損壞
3 抽氣閥門無開
啟
P C 螢幕抽氣閥啟動選項並
確認電磁閥無作動確認高
壓空氣壓力為 4 ~6 kg cm 2
4 PUMP 無運轉
P C 螢幕乾式 PUMP 啟動選項
並確認 PUMP 電源線固定狀況
與轉否正確
5電磁閥無作動
1先 PC 螢幕內系統檢測
output 檢查控制閥門
否已動作
2手動方式電磁閥藍色
鈕確認否動作無
動作時則予更換新品
真空度變
差
1 漏氣
將系統抽氣 2 時
將閥與閥
關閉利漏率測試
檢測漏率否 02
1六角板手將接頭螺絲
與 dou b l e w a ll c l am p 確認鎖
緊
2手將 NW 4 0 c l am p 確認鎖緊
3檢查 ORING 否髒汙
灰塵將真空油保養後
裝回檢查 ORING 否已
經老化變形時需更換新
ORING
2 Out g a s
利漏率測試測試
兩個 c y c l e確認
否兩次漏率皆為
樣後次前
次漏率低則為
out g a s 現象
為 Out g a s 現象 則需將
腔體持續抽久點水氣出來
後
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障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
無法讀取
腔體壓力
值
壓力偵測
系統異常
1壓力開關無訊
號
1檢查否設定錯誤導致無訊
號進入 P LC進開啟壓力計
前端氣動閥
2壓力計無讀值
1檢查 9 p i n 轉接板第三與第
四腳位(3 + 4)否 2 4 V 電
位
2檢查 9 p i n 轉接板第八第
九腳位(9 + 8)否電壓輸
出(電壓隨壓力變化)
無法抽進
氣與破
氣
閥門作動
異常
1機台無接高
壓空氣
將高壓空氣接頭接機台高壓
空氣輸入接頭
2 三點組合否
調設定壓力值
將輸入三點組合高壓空氣壓力
調 4 ~6 kg 間
3電磁閥無作動
手動方式電磁閥藍色
鈕確認否障需做更
換
4 氣動閥無作動 電磁閥確認氣動閥無作
動障需做更換
5破氣調壓閥
否調設定壓
力值
將破氣氣體調壓閥調 5 kg 左
右
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附錄附錄附錄附錄零件清單零件清單零件清單零件清單
P ar ts
N u mber 名稱 作功
P C0 4 0001 機械幫浦 抽真空範圍低真空
P C0 4 0002 魯氏幫浦 抽真空範圍中真空
P C0 4 0003 濾油器 過濾機械幫浦排出氣體將油濾
出
P C0 4 000 4 幫浦支撐架 幫浦載台輪子與腳撐幫浦
移動固定
P C0 4 0005 ISO 100KF 4 0ISO 63 三通 抽氣件固定於腔體外壁
P C0 4 0006 ISO 63 角閥 抽氣件快速抽真控閥門
P C0 4 0007 ISO 63KF 4 0 三通 抽氣件連結角閥與 soft
st ar t
P C0 4 000 8 氣動閥 抽氣件 soft st ar t 組件
P C0 4 0009 手動閥 抽氣件 soft st ar t 組件
調抽氣速率快慢
P C0 4 0010 KF 4 0 軟 緩衝手動閥與 ISO 63KF 4 0 三通
P C0 4 0011 ISO 63 O 型環 ISO 63 接頭型式封真空配件
P C0 4 0012 KF 4 0 O 型環 KF 4 0 接頭型式封真空配件
P C0 4 0013 ISO 63 固定鎖塊 固定 ISO 63 接頭配件
P C0 4 001 4 KF 4 0 固定鉗 固定 KF 4 0 接頭配件
P C0 4 0015 電磁閥1 提供角閥做動氣體
P C0 4 0016 電磁閥2 提供氣動閥做動氣體
P C0 4 0017 電磁閥3 提供破氣氣體
P C0 4 001 8 電磁閥4 提供 N up r o 氣動閥1 做動氣體
P C0 4 0019 電磁閥5 提供 N up r o 氣動閥2 做動氣體
P C0 4 0020 電磁閥6 未做動
P C0 4 0021 電磁閥7 未做動
P C0 4 0022 電磁閥8 開啟壓力計(C onv ec t r on ) 氣動閥
P C0 4 0023 電磁閥9 提供幫浦破氣 N up r o 氣動閥做
動氣體
P C0 4 002 4 電磁閥10 未做動
P C0 4 0025 N up r o 氣動閥1( NC) 流量計1 前端控制氣體
P C0 4 0026 N up r o 氣動閥2( NC) 流量計2 前端控制氣體
P C0 4 0027 N up r o 氣動閥3( NC) 破氣 Creating Nano Technologies
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P ar ts
N u mber 名稱 作功
P C0 4 002 8 N up r o 氣動閥4 (NC) 壓力計前端保護(暫定)
P C0 4 0029 N up r o 氣動閥(NO) 抽氣幫浦破氣
P C0 4 0030 流量計1Ar 設定 Ar 輸出流量
P C0 4 0031 流量計2H2 設定H2 輸出流量
P C0 4 0032 壓力計 偵測腔體內部壓力
P C0 4 0033 壓力偵測開關 提供壓力計開啟與破氣訊號
P C0 4 003 4 1 4i n 鋼接頭 SWG 連結廠務端製程氣體
P C0 4 0035 高壓空氣快速接頭 連結廠務端高壓空氣
P C0 4 0036 氮氣快速接頭 連結廠務端氮氣
P C0 4 0037 二點式三點組合 過濾 CDA 中水氣潤滑電磁閥
P C0 4 003 8 調壓閥1 設定 CD A 壓力值給破氣
P C0 4 0039 調壓閥2 設定 N2 壓力值給幫浦稀釋氧氣
P C0 4 00 4 0 散熱風扇(1) 機台散熱(腔體方)
P C0 4 00 4 1 散熱風扇(2) 機台散熱(幫浦方)
P C0 4 00 4 2 散熱風扇(3) 機台散熱(幫浦右側門框)
P C0 4 00 4 3 散熱風扇( 4 ) 機台散熱(幫浦後方板金)
P C0 4 00 44 觸控螢幕 員操作機台製程
P C0 4 00 4 5 面板開關(綠)ON 機台電源啟動開關
P C0 4 00 4 6 面板開關(紅)O FF 機台電源停止開關
P C0 4 00 4 7 蜂鳴器 異常時發出聲響警告
P C0 4 00 48 蜂鳴器 幫浦異常輸出作動
P C0 4 00 4 9 緊急鈕 機台緊急事件斷電
P C0 4 0050 磁簧開關1 機台保護
P C0 4 0051 磁簧開關2 機台保護
P C0 4 0052 磁簧開關3 機台保護
P C0 4 0053 磁簧開關4 機台保護
P C0 4 005 4 磁簧開關5 機台保護
P C0 4 0055 磁簧開關6 機台保護
P C0 4 0056 磁簧開關7 機台保護
P C0 4 0057 磁簧開關8 機台保護
P C0 4 005 8 磁簧開關9 機台保護
P C0 4 0059 磁簧開關10 機台保護
P C0 4 0060 三色燈 機台狀態燈號
P C0 4 0061 延長線開關 提供電漿電源
P C0 4 0062 隔離變壓器 隔離 POWE R 雜訊與保護電路控制
板 Creating Nano Technologies
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附錄二附錄二附錄二附錄二工圖工圖工圖工圖
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低壓電漿低壓電漿低壓電漿低壓電漿設備設備設備設備CNTCNTCNTCNTPPPPAAAA00001111
操作手冊操作手冊操作手冊操作手冊
版版版版 66665555 版版版版
馗鼎奈米科技股份限公司
710 台南縣永康市亞太工業區中正路 279 巷 21 弄 59 號
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聲明聲明聲明聲明
操作手冊僅供購買單位機台操作時全部部分複製轉載操作手冊
手冊內容將來變更恕行通知
未經原廠意私拆卸變更機台造成損壞公司予負責
安全須安全須安全須安全須知知知知
1 請注意安全正確產品對生命財產安全危害防範未然 請務必遵守
項安全注意事項
2 請務必解圖形表示意思後 閱讀文內容
圖表示 高壓電危險 請勿 遭電擊死亡
圖表示 當操作 造成員重傷死
亡設備毀損
圖表示 當 造成員輕傷設備損
壞
圖表示 禁止拆卸免造成設備毀損
圖表示 高溫區域 請勿碰觸 免燙傷
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安全注意事項安全注意事項安全注意事項安全注意事項
1111 設備工作中機台內電極部份含高達 3 千伏特瞬間電壓操
作中禁止開機台內部碰觸電緣接點
2222 進行維修相關作業時務必關閉來源電源
1111 維修時需活電進行請聯絡原廠維修並避免金屬物品(手
工具)碰觸設備接點
2222 設備工作電壓為(220 V 5060 Hz 50A) 請先確認來源電壓
無誤後開啟電源避免造成設備損壞工安事件
1111 腔體(chamber)內長時間工作會產生 60~70 ﾟ C 溫度需注意
碰觸時反應造成危險(物品掉落)
1111 啟動機台前詳細檢查電路接頭否正確接妥
2222 將電極短路避免觸電回路短路造成元件損壞
3333 機台操作中拆卸電引路
4444 機台操作中隨意搖晃機台
5555 清理腔體內部時應確定電源確實處於關閉狀態
6666 電線破損情形應立處理（絕緣膠帶包緊更換
電線）
7777 日操作結束後將腔體（chamber ）維持真空狀態
8888 設備適合具腐蝕性氣體請勿腐蝕性氣體避
免元件受侵蝕
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目錄目錄目錄目錄
第章第章第章第章 概概概概
公司簡介公司簡介公司簡介公司簡介 6666
產品介紹產品介紹產品介紹產品介紹 6666
電漿介紹電漿介紹電漿介紹電漿介紹 7777
類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹 7777
第二章第二章第二章第二章 規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求
電漿設備規格電漿設備規格電漿設備規格電漿設備規格 8888
廠務需求廠務需求廠務需求廠務需求 8888
第三第三第三第三章章章章 安裝接線安裝接線安裝接線安裝接線
安裝注意事項安裝注意事項安裝注意事項安裝注意事項 9999
設備簡介設備簡介設備簡介設備簡介 10101010
腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路 11111111
閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件 12121212
閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖 14141414
配電盤配置配電盤配置配電盤配置配電盤配置 15151515
電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線 16161616
幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線 17171717
氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路 18181818 Creating Nano Technologies
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第四第四第四第四章章章章 系統系統系統系統操作說明操作說明操作說明操作說明
操作注意事項操作注意事項操作注意事項操作注意事項 11119999
手動手動手動手動畫面畫面畫面畫面 20202020
動模式動模式動模式動模式 22222222
參數參數參數參數設定設定設定設定 22223333
系統檢測系統檢測系統檢測系統檢測 24242424
異常訊息異常訊息異常訊息異常訊息 28282828
資訊資訊資訊資訊 29292929
密密密密碼碼碼碼設定設定設定設定 30303030
機械設定機械設定機械設定機械設定 31313131
漏率偵測漏率偵測漏率偵測漏率偵測 32323232
低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖低壓電漿系統操作流程圖 33333333
低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖低壓電漿系統動模式流程圖 34343434 Creating Nano Technologies
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第五第五第五第五章章章章 設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養
變頻器變頻器變頻器變頻器 38 38 38 38
幫浦保養幫浦保養幫浦保養幫浦保養 40404040
壓力計壓力計壓力計壓力計與壓力感測器與壓力感測器與壓力感測器與壓力感測器 41414141
真空元件保養真空元件保養真空元件保養真空元件保養與與與與流量計流量計流量計流量計 43434343
第第第第六六六六章章章章 錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排
障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解 43434343
附錄附錄附錄附錄零件清單零件清單零件清單零件清單 55550000
附錄二附錄二附錄二附錄二工圖工圖工圖工圖 55553333
第章第章第章第章 概概概概
公司簡介公司簡介公司簡介公司簡介
馗鼎奈米科技技術團隊電漿領域研發已十餘年歷史國內對於電漿技術開Creating Nano Technologies
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發說位於領導位目前已國內常壓電漿設備生產製造商產品穩定性
度深獲面板廠肯定截目前為止已獲面板廠量效提升面板生產良
率信賴度
公司具全世界首屈指電漿與鍍膜專業技術專長於 IC光電與通訊製程技術與
設備研發客戶領域鎖定光電（液晶顯示器機發光二極體）半導體（ IC
電子封裝）印刷電路板精密機械（模具工具鍍膜）光纖通訊微機電等產業提供
未來快速成長電子資訊產業關鍵技術
公司定位於研究開發與技術創新公司開發建立台灣光電光學精密機械IC
封裝資訊關鍵技術公司目標與利基為達技術領先永續經營目
標們將斷研發提升產品性為提升國內產品研發力競爭性們
積極與國內學術界研發機構合作將具應性研發成果商品化
產品介紹產品介紹產品介紹產品介紹
公司技術團隊行開發光電半導體封裝鍍膜設備與開發新製程與技術 已研
發產品
1種寬幅式與點狀式常壓電漿（氣電漿）設備
2 低壓電漿清洗設備
3電漿化學氣相沈積系統
4 類鑽碳鍍膜系統
5 光電薄膜蒸鍍設備
6 類鑽碳（DLC）薄膜鑽石薄膜氮化鈦（T iN）氧化鈦（T iO 2 ）鉻（Cr ）薄膜
7 水滴角量測儀
8 微氧分析儀
需更步解產品特性需更步解產品特性需更步解產品特性需更步解產品特性 請進入公司網站請進入公司網站請進入公司網站請進入公司網站
網址網址網址網址 httpwwwcreatinghttpwwwcreatinghttpwwwcreatinghttpwwwcreatingnanotechcomnanotechcomnanotechcomnanotechcom Creating Nano Technologies
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電漿介紹電漿介紹電漿介紹電漿介紹
正常生活中常接觸電漿太陽日光燈霓虹燈閃電等類對電漿
第印象團會發光東西
謂電漿種帶電子正負電荷離子中性氣體分子基組成正常
情況呈電中性陸區科學家稱為等「等離子體」取帶正電荷離
子數目與帶負電荷（電子）數目相等意
電漿態氣液固三態外發現物質存種狀態整個宇宙來說物質
電漿存例高
電漿途廣泛常壓電漿產生高溫高應溶融噴塗燃燒輔助化學
反應等低溫電漿應清潔製程活化材料表面形成官基應電子業製程潔
淨蝕刻輔助化學反應等量應高分子材料前處理聚合作然電漿
衡狀態物理參數需加控制電漿對基材產生佳
預期化學作
類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹類鑽碳鍍膜介紹
類鑽碳(石)薄膜為碳原子少量氫原子鍵結組成非晶質(沒結晶)薄膜 於原
子直徑排列非常緻密單位體積內價鍵結數目較成為硬度僅次於鑽石
材料為達化學穩定消表面懸空鍵薄膜表面原子常雙鍵形式存
碳碳雙鍵非常穩定結構類鑽碳薄膜表面反應性低（較沾粘）摩擦係數
非常適合應模具需耐磨耗方外於類鑽碳薄膜為非結晶態
容易基材沉積非常滑薄膜非常適合於光學鏡面模具表面披覆
類鑽碳薄膜化學穩定性極佳耐酸鹼非常適合應具腐蝕性環境
於類鑽碳薄膜室溫製備製備類鑽碳膜過程中會為熱變形造成模
具損壞 Creating Nano Technologies
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第二章第二章第二章第二章 規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求規格與廠務需求
低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表低壓電漿設備規格表
控台控台控台控台(Option：Touch Panel)
項 目 單位 規 格
尺寸( Wx H x D) mm 1195 x1195 x22 4 6
重量 Kg 4 50
電壓 V AC220 三相+接線
頻率 Hz 50~60 Hz
電流 A 50A
接電阻 Ω < 5 Ω
CDA 入口壓力 Kgf cm 2 4 ~6 Kgf cm 2
GN 2 入口壓力 Kgf cm 2 < 1 Kgf cm 2
製程氣體入口壓力 Kgf cm 2 1~3 Kgf cm 2 (ArH2 N 2 O 2C D A)
排氣量 Lm i n M a x 100Lm i n N o rma l 1Lm i n
廠務需求廠務需求廠務需求廠務需求
項目 需求 規格 備註
1 供應交流電源 AC220V( 三相)50A + 接線
2 PUMP 排氣系統 2 英吋排氣連接廠務排氣 連接廠務排氣系統
3 抽氣量 M a x 100 Lm i n
4 維修空間 90cm
5 製程氣體
壓力 1~3kg cm 2
徑 4 x 6mm
加裝調壓閥
廠方製程需求供應
(ArH2 N 2 O 2C D A)
6 廠務 N 2 壓力 05~1 kg cm 2
徑 5 x 8 mm
幫浦需求氣體
(製程氣體需求供應)
7 廠務 CD A 壓力 4 ~6 kg cm 2
徑 5 x 8 mm
設備閥門破氣需求
氣體
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第三章第三章第三章第三章 安裝接線安裝接線安裝接線安裝接線
安裝安裝安裝安裝注意事項注意事項注意事項注意事項
注意事項
1 安裝機台前必需詳細閱讀手冊元件原廠說
明書並特別注意標示危險注意方
2 安裝後請確定機械幫浦機械幫浦機械幫浦機械幫浦魯式幫浦魯式幫浦魯式幫浦魯式幫浦轉否正確(幫浦
箭頭標示方)正確請將三相 220 v 電源線紅黑兩
條線對調對調後請測試(安裝介紹幫浦接線安裝)
3 機台原廠進行安裝別元件需重新安裝時安
裝詳細步驟注意事項請參考原廠說明書
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設備簡介設備簡介設備簡介設備簡介
三色燈三色燈三色燈三色燈
控制面版控制面版控制面版控制面版
EMO 緊急停止緊急停止緊急停止緊急停止
腔體腔體腔體腔體
Barcode
掃描機掃描機掃描機掃描機 Creating Nano Technologies
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腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路腔體閥門路
路實圖路實圖路實圖路實圖
閥 Creating Nano Technologies
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閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件閥門與相關元件
元件名稱元件名稱元件名稱元件名稱 元件功元件功元件功元件功 元件元件元件元件常遇問題排方式常遇問題排方式常遇問題排方式常遇問題排方式 元件圖片元件圖片元件圖片元件圖片
電磁閥電磁閥電磁閥電磁閥 訊號控制出氣口
動作右圖 1 為
常閉接點氣體輸
出(訊號動作)2
為常開接點氣體
輸出(時氣體
輸出訊號關閉)
ㄧ般發生問題時為無動作情
形較時先強制手動裝置
運轉還無動作時
請通知廠商處置並告知現行
狀況
氣動閥氣動閥氣動閥氣動閥 透過電磁閥輸出氣
體控制氣動閥動作
(氣體輸入控制氣
動閥開啟)
這種元件控制氣體開閉為
無動作發生時
行更換新品並請通知廠商告
知現行狀況
角閥角閥角閥角閥
((((閥閥閥閥))))
透過電磁閥輸出氣
體控制閥門動作
右圖 1 輸入氣體
時閥門關閉2輸入
氣體時閥門開啟
1 般為路連接處鬆脫
破損需更換路重新
檢查
2 為角閥身動作問
題時(無法推定位
等……)勿行更換新品並
請通知廠商處置並告知現行
狀況
調壓閥調壓閥調壓閥調壓閥 調整輸入氣體進
氣壓力(單位kgf )
腔體破氣調壓閥
設 5 kgf 幫浦
pu r g e 調壓閥接
氮氣設 1 kgf ( 幫浦
pu r g e 氮氣視狀
況接接)
1需將調整處拉出旋轉
調整壓力值無法調整時建
議更換新品避免造成機台端
CD A 壓力足
2調壓閥調整鈕錶頭已
無法動作時請盡速更換新
品利機台運轉
1111 2222
1
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元件名稱元件名稱元件名稱元件名稱 元件功元件功元件功元件功 元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式元件常遇問題排方式 元件圖片元件圖片元件圖片元件圖片
二點式三二點式三二點式三二點式三
點組合調點組合調點組合調點組合調
壓閥壓閥壓閥壓閥
調整供應電磁閥
氣體壓力設 5 kgf
供應氣體會注入
許潤滑油潤滑電
磁閥機構調壓閥
方加 fl i t er
過濾輸入氣體
調壓閥調整鈕錶頭已無
法動作時請盡速更換新品
利機台運轉
流量計流量計流量計流量計 控制製成氣體流量
輸入值調整
範圍為流量計額定
範圍 0~50 s ccm
0~500 s ccm
M FC 進口壓力需
2~3kg cm 2 間太高太低
皆會造成流量穩甚損
壞當校正曲線偏移超過 10
時需送 M FC 原廠校正
壓力感測壓力感測壓力感測壓力感測
開關開關開關開關
於偵測腔體內部
粗略壓力做為內
部 PLC 判斷控制
途
1為螢幕無法顯示時請先
查詢線路部分
2 SENSOR 設定值請勿隨意更
改避免造成運轉產生問題
3 當元件已完全無法動作
行更換新品並請通知廠商處
置並告知現行狀況
壓力計壓力計壓力計壓力計
((((ConvectronConvectronConvectronConvectron ))))
偵測腔體內部壓力
值
請注意線路接頭處般為
接觸良造成無動作處裡後
無法動作 請通知廠商處
置並告知現行狀況
測量範圍 1mto rr
10 3to rr
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閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖閥門與相關元件配置圖
電磁閥說明電磁閥說明電磁閥說明電磁閥說明
電磁閥電磁閥電磁閥電磁閥#### 控制元件控制元件控制元件控制元件功功功功 備註備註備註備註
電磁閥 1 控制閥開啟關閉 出氣端連接閥
電磁閥 2 開啟幫浦破氣氣動閥 執行幫浦與路破氣
電磁閥 3 — 預留
電磁閥 4 — 預留
電磁閥 5 — 預留
電磁閥 6 — 預留
電磁閥順序：右左電磁閥 1電磁閥 6 Creating Nano Technologies
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配電盤配置配電盤配置配電盤配置配電盤配置
機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源機 台 輸 入 電 源 3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 55550A0A0A0A
配電盤配置說明配電盤配置說明配電盤配置說明配電盤配置說明
編號編號編號編號 名稱名稱名稱名稱 功功功功
1111 訊號控制模組訊號控制模組訊號控制模組訊號控制模組 控制訊號輸入輸出
2222 系統系統系統系統 RELAYRELAYRELAYRELAY 控制系統接點動作與保護
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電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線電源輸入接線
說明說明說明說明 圖示圖示圖示圖示
系統斷路器來源電源輸入處供應配電盤
與控制部電源部電壓
(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 55550A0A0A0A))))
電磁接觸器
1 M C1 配電盤跳脫保護
(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 設定值設定值設定值設定值 26262626AAAA))))
2 M C2 機械幫浦來源電壓機械幫浦跳脫
保護(3Ø2203Ø2203Ø2203Ø220VVVV5060Hz5060Hz5060Hz5060Hz 設定值設定值設定值設定值 26262626AAAA))))
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幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線 Creating Nano Technologies
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幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線幫浦電源接線
說明說明說明說明 圖示圖示圖示圖示
右 圖 紅 色 框 線 部 份 為 機 械 與 魯 式 幫 浦
3 Ø 220V 電源輸入端接法框線右方為 3 8 0V
輸入電壓接法 R S T 對應 U V W
右圖為幫浦接線實際圖紅色框線部分為電
源輸入處
幫浦外部接線實圖蛇電源線接 M C2 M C3
來源電壓
紅色框線部分為幫浦排氣路
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氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路氣體輸入路
氣體輸入說明氣體輸入說明氣體輸入說明氣體輸入說明
編號編號編號編號 輸入氣體輸入氣體輸入氣體輸入氣體
1111 輸入空氣作為電磁閥與氣動閥動作氣體
2222 輸入氮氣降低幫浦氧氣濃度減低幫浦油氧化速度 (視狀況接
接)
3333 輸入製程氣體接流量計 1
4444 預留氣體輸入接頭
5555 預留氣體輸入接頭
1
2
3 4
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第四章第四章第四章第四章 系統操作說明系統操作說明系統操作說明系統操作說明
操作注意事項操作注意事項操作注意事項操作注意事項
注意事項
1 操作機台前必需詳細閱讀手冊並特別注意標示危險
注意方
2 非機台相關員請勿意操作機台
3 操作前請確認需工作氣體路已經開啟
4 非必盡量將安全開關與警報器 b y p a ss
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手 動手 動手 動手 動 畫 面畫 面畫 面畫 面
進 入 手 動 畫 面 後 直 接 點 選 相 關 暖 機 選 項 機 台 工 作 前 需 先 進
行 0 5 分 鐘 暖 機 時 機 械 幫 浦 會 對 路 做 初 抽 負 壓 避 免
壓 力 關 係 油 氣 逆 衝 腔 體 需 密 碼 設 定 選 項 登 入 者
未 登 入 夠 執 行 動 模 式 與 觀 異 常 訊 息 進 行 暖 機 功 登
入 後 執 行 選 項
1 1 11 壓 力 計壓 力 計壓 力 計壓 力 計 顯 示 目 前 腔 體 內 壓 力 值 壓 力 計 讀 值 範 圍 為 0 〜 1 0 3
T o r r 需 腔 體 後 側 左 方 數 位 顯 示 壓 力 開 關 壓 力 值 低 於
限 壓 力 計 與 腔 體 間 氣 動 閥 會 開 啟 偵 測 腔 體 內 壓 力
2 2 22 閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體 當 作 動 時 抽 氣 路 部 份 會 變 為 黃 色 機 械 幫 浦 魯
式 幫 浦 互 鎖 ( 魯 式 幫 浦 作 動 必 須 機 械 幫 浦 已 作 動 狀 況
) 閥 開 啟 狀 態 無 法 進 行 破 氣 動 作 閥 關
閉 狀 態 無 法 開 啟 製 程 氣 體
3 3 33 製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體 為 產 生 電 漿 氣 體 直 接 點 取 螢 幕 設 定 值 設 定 流
量 設 定 時 需 先 將 氣 體 關 閉 設 定 流 量
4 4 44 電 源電 源電 源電 源 顯 示 目 前 電 漿 功 率 ( 功 率 流 量 壓 力 直 接 影 響 電 漿 效
)
5 5 55 氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示 顯 示 目 前 氣 動 閥 動 作 狀 態 反 黃 代 表 開 啟 狀 態
6
4 1 8 5
7
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6 6 66 計 時計 時計 時計 時 計 算 製 程 中 時 間 必 需 行 手 動 執 行 開 始 結 束 與 歸
零
7 7 77 流 量 設 定流 量 設 定流 量 設 定流 量 設 定 設 定 通 入 製 程 氣 體 流 量
手 動 模 式 直 接 控 制 幫 浦閥 門製 程 氣 體 流 量 開 關 電 漿 動 作
直 接 點 選 方 藍 色 方 塊 來 做 開 關 動 作
8 8 88 回 傳 值回 傳 值回 傳 值回 傳 值 製 程 氣 體 回 傳 值
9 9 99 單 動 選 項單 動 選 項單 動 選 項單 動 選 項
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動 模 式 動 模 式 動 模 式 動 模 式
1 1 11 製 程 組 別製 程 組 別製 程 組 別製 程 組 別 套 參 數 設 定 裡 已 設 定 參 數 ( ： 氣 體 流 量 相
關 壓 力 值 ) 進 行 相 關 製 程 參 數 組 別 旁 黃 色 方 塊 為 參 數 說
明
2 2 22 壓 力 計壓 力 計壓 力 計壓 力 計 顯 示 目 前 腔 體 內 壓 力 值
3 3 33 閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體閥 門 與 腔 體 顯 示 目 前 抽 氣 路 狀 況 當 動 作 時 抽 氣 部 份 會 變 為
黃 色
4 4 44 製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體製 程 氣 體 為 產 生 電 漿 解 離 氣 體 參 數 設 定 內 設 定 少 流
量
5 5 55 電 源電 源電 源電 源 顯 示 目 前 電 漿 功 率 ( 功 率 流 量 壓 力 直 接 影 響 電 漿 )
6 6 66 氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示氣 動 閥 動 作 顯 示 顯 示 目 前 氣 動 閥 動 作 狀 態反 黃 代 表 開 啟 狀 態
7777 計 時計 時計 時計 時 s t a r t 開 始 清 潔 流 程 並 計 算 從 抽 氣 點 電 漿 破 氣 製 程
總 時 間 s t o p 為 中 斷 製 程 動 作 畫 面 頁
參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定
3
1
4
6
7
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參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定參 數 設 定
參數設定裡設定 50 組參數值組別設定背壓製程氣體流量
清潔時間參數說明當新設定修改組參數值時先點選設定修改組別
進行參數設定設定完後必須確定鍵儲存目前設定值當選擇組別時
製程組別裡點選需組別後確定鍵儲存目前選取組別
系 統 檢 測系 統 檢 測系 統 檢 測系 統 檢 測 Creating Nano Technologies
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輸 入 訊 號輸 入 訊 號輸 入 訊 號輸 入 訊 號
處 為 系 統 回 傳 訊 號 顯 示 圖 部 位 作 動 狀 況 作 動 時 燈
號 為 紅 色 未 作 動 時 為 白 色 ：
動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 動 流 程 開 始 訊 號 啟 動 為 紅 色 未 啟 動 為 白 色
壓 力壓 力壓 力壓 力 SENSORSENSORSENSORS E N S O R 限 限 限 限 腔 體 氣 壓 力 作 動
壓 力壓 力壓 力壓 力 SENSORSENSORSENSORS E N S O R 限 限 限 限 腔 體 真 空 狀 態 作 動
機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測機 械 幫 浦 動 作 檢 測 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號 ( 電 磁 開 關 作 動 )
魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測魯 式 幫 浦 作 動 檢 測 魯 式 幫 浦 啟 動 訊 號 ( 電 磁 開 關 作 動 )
機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測機 械 幫 浦 過 載 檢 測 機 械 幫 浦 積 熱 電 驛 跳 脫 回 傳 訊 號幫 浦 停 止 作
動
魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測魯 式 幫 浦 過 載 檢 測 魯 式 幫 浦 積 熱 電 驛 跳 脫 回 傳 訊 號幫 浦 停 止 作
動
磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關 ____ 鈑 金鈑 金鈑 金鈑 金 外 部 門 板 關 閉 時 作 動 顯 示 紅 色
磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關磁 簧 開 關 ____ 腔 體腔 體腔 體腔 體 關 閉 時 動 作 顯 示 紅 色
高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測高 壓 空 氣 限 檢 測 低 於 CD A 限 值 作 動 顯 示 紅 色
功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常 回 傳回 傳回 傳回 傳 發 生 功 率 異 常 回 傳 訊 號 作 動 顯 示 為 紅 色 Creating Nano Technologies
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系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入系 統 關 機 訊 號 輸 入 系 統 關 機 訊 號 啟 動 為 紅 色 未 啟 動 為 白 色
功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常功 率 異 常 功 率 超 過 限 回 傳 功 率 異 常 訊 號
外 部 板外 部 板外 部 板外 部 板 金 偵 測金 偵 測金 偵 測金 偵 測 外 部 門 板 關 閉 時 作 動 顯 示 紅 色
抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 檢 測檢 測檢 測檢 測 ( O N )( O N )( O N )(ON) 作 動 時 顯 示 紅 色 未 動 作 時 顯 示 白 色
抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 檢 測檢 測檢 測檢 測 ( O FF )( O FF )( O FF )(OFF) 作 動 時 顯 示 紅 色 未 動 作 時 顯 示 白 色 Creating Nano Technologies
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輸 出 訊 號輸 出 訊 號輸 出 訊 號輸 出 訊 號
處 為 系 統 輸 出 訊 號 為 系 統 輸 出 部 位 動 作 作 動 時 燈 號
為 紅 色 未 作 動 為 白 色 ：
機 械機 械機 械機 械 幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動 ：：：： 輸 出 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號
魯 式魯 式魯 式魯 式 幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動幫 浦 啟 動 ：：：： 魯 式 機 械 幫 浦 啟 動 訊 號
綠 燈綠 燈綠 燈綠 燈 ：：：： 電 漿 啟 動 時 輸 出 訊 號 綠 燈 亮
黃 燈黃 燈黃 燈黃 燈：：：：當 閥 閥 抽 氣 與 系 統 破 氣 時 輸 出 訊 號動 作 時 燈 號 閃 爍
紅 燈紅 燈紅 燈紅 燈 ：：：： 當 機 台 作 動 異 常 與 腔 體 板 金 未 關 閉 時 動 作 紅 燈 亮
蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器 (((( ))))：：：： 機 台 作 動 異 常 時 發 出 聲 響 與 破 氣 完 成 時 響 3 秒
蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器蜂 鳴 器 (((( ))))：：：： 幫 浦 異 常 輸 出 作 動
電 漿 啟 動電 漿 啟 動電 漿 啟 動電 漿 啟 動 ：：：： 需 REMO T E 狀 態 輸 出 系 統 控 制 部 啟 動 電 漿
風 扇風 扇風 扇風 扇 1111 啟 動啟 動啟 動啟 動 風 扇風 扇風 扇風 扇 1111 啟 動 訊 號
風 扇風 扇風 扇風 扇 2222 啟 動啟 動啟 動啟 動 風 扇風 扇風 扇風 扇 2222 啟 動 訊 號
腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號腔 體 已 關 訊 號 腔 體 門 關 閉 時 啟 動
重 置重 置重 置重 置 (RESET)(RESET)(RESET)(RESET) 電 腦 重 置 時 回 覆 訊 號
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 1 (1 (1(1 ( 抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門抽 氣 閥 門 ))))：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥 閥 開 啟
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 2 (2 (2(2 ( 壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門壓 力 計 閥 門 ))))：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥 壓 力 計 閥 門 開 啟
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 3 (3 (3(3 ( 幫 浦幫 浦幫 浦幫 浦 破 氣破 氣破 氣破 氣 ))))：：：： 輸 出 破 氣 訊 號 電 磁 閥 幫 浦 破 氣
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 4 (4 (4(4 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 5 (5 (5(5 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 6 (6 (6(6 ( 預 留預 留預 留預 留 ))))：：：： 預 留 Creating Nano Technologies
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電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 7 (7 (7(7 ( 流 量 計流 量 計流 量 計流 量 計 1 )1 )1)1 ) ：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 8 (8 (8(8 ( 流 量 計流 量 計流 量 計流 量 計 2 )2 )2)2 ) ：：：： 輸 出 訊 號 電 磁 閥
電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥電 磁 閥 9 (9 (9(9 ( 幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣幫 浦 破 氣 ))))：：：： 關 機 時 輸 出 幫 浦 破 氣 訊 號
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異 常 訊 息異 常 訊 息異 常 訊 息異 常 訊 息
顯 示 目 前 機 台 狀 況 訊 息 右 方 障 排 障 排 障 排 障 排 清 目 前 已 排
異 常 訊 息
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資訊資訊資訊資訊
記載需保養零組件時數確認保養時數
歷 史 資 訊 設 定 為 將 流 量 計 幫 浦 電 磁 閥 保 養 與 更 換 零 件 後
將 前 總 時 數 目 前 幫 浦 需 定 期 保 養 機 械 幫 浦 設 定
值 定 為 5 0 0 0 時 魯 式 幫 浦 3 0 0 0 時 為 檢 查 幫 浦 潤 滑 油 等
狀 況 需 視 狀 況 更 改 保 養 時 數
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密 碼 設 定密 碼 設 定密 碼 設 定密 碼 設 定
密 碼 變 更密 碼 變 更密 碼 變 更密 碼 變 更 變 更 目 前 者 登 入 密 碼
者 登 入 者 登 入 者 登 入 者 登 入 初 始 密 碼 密 碼 為 0 0 0 0
者 登 出 者 登 出 者 登 出 者 登 出 登 出 者
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機 械 設 定機 械 設 定機 械 設 定機 械 設 定
異常限設定異常限設定異常限設定異常限設定更改畫面屬限值於方出機前已經過審慎檢測
未經方工程員意請勿擅更改避免相關硬體毀損
機械控制設定機械控制設定機械控制設定機械控制設定暫時將畫面機台屬動作關閉
RRRRS232S232S232S232 設定設定設定設定為 barc od e 掃描機相關傳輸設定
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漏 率 偵 測漏 率 偵 測漏 率 偵 測漏 率 偵 測
漏 率 偵 測 為 機 台 腔 體 部 份 行 做 測 漏 並 曲 線 圖 呈 現
計 算 公 式 為 ( P t( P t( P t( P t P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789P0)t * V * 00789
P 為 壓 力 單 位 T o r r V 為 體 積 單 位 立 方 公 分
t 為 時 間 單 位 秒 007 8 9 為 固 定 系 數 值
意 謂 腔 體 抽 底 壓 停 止 抽 氣 後 秒 鐘 後 值 減 前 值 總 合
相 減 次 數 * 0 0 7 8 9 V
漏 率 測 試 需 先 將 腔 體 作 2 時 抽 氣 防 止 腔 體 內
殘 存 氣 體 水 氣 影 響 偵 測 值抽 氣 完 後 關 閉 閥 門 進 行 2 時
測 漏 漏 率 需 0 2 (T o r r * c m 3 s e c ) Creating Nano Technologies
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低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統操作操作操作操作流程圖流程圖流程圖流程圖
BREAKER
開啟
MC1 作動
GP&PLC 作動
START
GP 控制
動模式 手動模式 參數設定 機械設定 異常訊息
漏率檢測 密碼設定 狀態 系統檢測 系統檢測 Creating Nano Technologies
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低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統低壓電漿系統動模式動模式動模式動模式流程圖流程圖流程圖流程圖
選擇參數設
定
設定參數
進入動流程
START
機械 PUMP 持續運轉
時間否超過 5 分鐘
否
計時 10 秒
開啟閥
計時 5 秒
魯式 PUMP 開啟
偵測壓力值否達
背壓
背壓參數
設定
出現未暖機提示 Creating Nano Technologies
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開啟 MFC
流量參數
設定
開啟電漿
清潔時間計時
清潔時間達關閉
電漿
關閉流量計
計時 5 秒
關閉魯式 PUMP
開啟破氣
清潔時間
參數設定
通入製程氣體與
開啟變頻器穩壓控制
製程氣體
參數設定
偵測壓力值否
達穩壓
穩壓參數
設定 Creating Nano Technologies
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偵測壓力否為 1
氣壓
關閉破氣 Creating Nano Technologies
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第五第五第五第五章章章章 設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養設備維護與保養
變頻器變頻器變頻器變頻器面板說明面板說明面板說明面板說明
說明
1 Hz RPM赫茲轉速顯示VOLT電壓顯示FUN功顯示 A MP電流顯示
2 REQ面板控制時亮燈FRQ 反轉正轉接亮燈FWD 反轉時亮燈REV 正轉時
亮燈
3 RUNSTOP 啟動停止
4 FWDREV 正轉逆轉轉換
5 方鍵調整 Hz 功選擇
6 RESET 重置
7 DSPFU N第點功顯示切換
8 READENTER 確認讀取
1 2 3 4 5 6 7 8 Creating Nano Technologies
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常見障指示對策常見障指示對策常見障指示對策常見障指示對策
無法手動復歸無法動復歸障
顯示 內容 異常原 對策
CP F 程式異常 外部雜訊干擾 於產生干擾 M C 線圈並 RC 突
波接收器
EPR EE PRO M 異常 EE PRO M 障 更換 EEPROM
@ OV 停 機 中 偵 測
電壓過高
偵測線路障 變頻器送修
@ LV 停 機 中 偵 測
電壓過低
1 電源電壓過低
2 限流電阻 FUSE 燒斷
3 偵測線路障
1檢查電源電壓否正常
2 換修憲流電阻保險絲
3變頻器送修
@ OH 停 機 中 偵 測
變 頻 器 過
熱
1 偵測線路障
2 週圍過熱通風良
1 變頻器送修
2 改善通風條件
CTER 電 流 感 測 器
偵測錯誤
電流感測元件線路障 變頻器送修
※ @符號為障發生時障接點動作
手動復歸無法動復歸障
顯示 內容 異常原 對策
O C 停 機 中 偵 測
過電流
1 偵測線路障
2 CT 訊號連接良
1 檢查線路否受干擾
2 變頻器送修
O L1 泵浦負載 1 負載太
2 額定電流設定當
1 加泵浦容量
2 說明設定電流值
O L2 變頻器負載 負載太 加變頻器容量
O L3 過轉矩 1負載太
2 過轉矩偵測準位時間
設定太
1 加變頻器容量
2 需設定過轉矩準位時
間
LVC 運 轉 中 電 壓
過低
1 電源電壓過低
2 電源電壓變化過
迴路 RELAY 障
1 改善電流品質調高允許順
停時間
2 設定較長加速時間
3 電源輸入測加阻抗器
4 加變頻器容量
5 變頻器送修
O HC 運 轉 中 散 熱
片過熱
1 負載過
2 周溫過熱通風良
1 檢查負載否異常
2 加變頻器容量
3 改善通風條件 Creating Nano Technologies
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※ 明白處請查變頻器操作手冊
Dr y pu m p (GV 8 0)
項目 週期 說明
1 檢查齒輪油
狀況 星期 觀測孔知目前油位寡 標準油位需 50
(加油量 0 4 L)
2 更換齒輪油
年
(視狀
況
定)
1 當(圖二)視窗油已劣化變色為黃褐色乳白
色必須更換免影響抽氣效率
2 油品規格為 FOMBLIN 256容量為 1L(圖)
(圖) (圖二)
3 廠保養 三年 建議三年回廠作機台整體保養
4 馬達軸承 連續運轉 35000 時需更換否則會造成馬損壞
油加入口
幫浦入油孔幫浦入油孔幫浦入油孔幫浦入油孔
兩孔為相通兩孔為相通兩孔為相通兩孔為相通
油位檢查窗油位檢查窗油位檢查窗油位檢查窗 Creating Nano Technologies
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壓力感測器
1操作方式 視狀況
1 限調整
(1)先▼o r ▲
(2) 畫面將出現 P 1 o r P 2 o r b1 三選項
MOD E 相互切換
(3) P 1：▼o r ▲設定限值(參數)
( 4 )P 2：▼o r ▲設定限值(參數)
(5)b1：恆保持為 0無需調整
(6) 設定完限將畫面停留 P 2數秒後
將動跳回偵測畫面
2 鍵鎖
(1)時住▼+M ODE 三秒→畫面出現L o c
鍵鎖
(2)住▼+M ODE 三秒→畫面出現 un L
鍵解鎖
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質量流量控制器(M FC)
1 流量測試 3 個月
1 3 個月應系統流量測試功進行流量
控制器校正當校正曲線偏移超過 10 時需
送原廠校正
2 M FC 進口壓力需 104 0 ps i 間太
高太低皆會造成流量穩甚損壞
真空腔體真空件
1 腔體與腔門清潔 天
1 酒精丙酮擦試腔體與腔門並注意避
免將溶濟觸碰 Or i ng
2 腔體與腔門間 Or i ng 應定期塗抹真空油
2 分氣裝置 天 視狀況清潔分氣板
3 Or i ng 2 年 2 年更換次
4 電極 天 視狀況清潔電極
5 電引入 視情況 定期更換 Or i ng
6 視窗 視情況 視狀況更換清潔視窗玻璃
7 氣體路 視狀況 視狀況更換
8 C D A 高壓路 2 年 狀況兩年更換次
9 氣動閥 1 年 年測試氣動閥次
10電磁閥 1 年 年測試電磁閥次
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第第第第六六六六章章章章 錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排錯誤與問題排
障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解障與錯誤問題排解
ㄧ異常視窗部分
異常視窗訊息(ㄧ)
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
設定流量
無法達
進氣系統
異常
1機台無接製
程氣體
將製程氣體接頭接機台製程
氣體輸入接頭
2 氣動閥無作動 電磁閥確認氣動閥無作
動障需做更換
3 流量計無作動
將流量計訊號線接頭接並
電路圖接點量測無電
壓輸出入
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異常訊息視窗(二)
RF 反射過
高
接完
整未接
機殼未完成接 接點相關線路確認並將鎖
緊
R F 聯接電
引入路
毀損未
接
連接路目視確認
1確認連接電引入螺絲否
鎖緊
2拆 RF 連接電引入件拆
確認連接部分否焦黑
狀況者請通知設備商處
置
無法動
匹配
匹配箱無法動匹
配 請通知設備商前處置調整
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異常視窗訊息(三)
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
RF 異常 電漿啟動
迴路異常
1電線接觸良 將電漿啟動電源線鎖
次確認沒接頭鬆脫
2電極與腔體導通
1請先將電引路與電極端導
體拆後(拆則會產生
誤判)量測電極高壓測與
腔體否導通則將腔體
移開腔體與電極為開路
狀態
3 POWER 否反應 2 測試否手動開啟電漿
無法開啟請聯絡公司
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二機台相關異常訊息部份
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
乾式幫浦
過負載
(MC1)
線路鬆脫
導致過載
檢查配電盤出線端
PUMP 入線端線路 將相關線路鎖緊手部拉
扯方式確認線鬆緊度 OL 過載 檢查相關線路否
鬆脫
魯式幫浦
過負載
(MC2)
線路鬆脫
導致過載
檢查配電盤出線端
PUMP 入線端線路 將相關線路鎖緊手部拉
扯方式確認線鬆緊度 OL 過載 檢查相關線路否
鬆脫
乾式幫浦
體溫度
過高
冷卻水未
開啟
檢查水路路否
水流存
與廠務端確認並將屬路
拆卸確認
抽氣閥門
異常
ab 接點
路錯接
檢查閥門 s e nso r 位
置
確認抽氣時 s e nso r 訊號動作
動作相反時將路對調
硬體異常 Cyl i nd er 動作異常
路接點壓力確認無誤
c y c l i nd er 無法將閥門推
s e nso r 感應位置請通知設備商
前處置
流量異常
(過高)
線路鬆脫 檢查配電盤相關線
路
線路鬆脫造成 M FC 動作異常檢
查配電盤訊號線相關線路並
鎖緊
硬體異常 MFC 感應異常 線路確認無誤後異常
請通知設備商前處置
流量異常
(過低)
線路鬆脫 檢查配電盤相關線
路
線路鬆脫造成 M FC 動作異常檢
查配電盤訊號線相關線路並
鎖緊
硬體異常 MFC 感應異常 線路確認無誤後異常
請通知設備商前處置
壓力異常
(過高)
變頻器異
常
無法順利控制 r oots
轉動頻率 請通知設備商前處置
漏氣 腔體相關漏氣 確認件否鎖緊件無
漏氣請告知設備商確認
流量計異
常 流量計感應異常
線路確認無誤後已排
異常異常持續時請通知設備
商前處置 Creating Nano Technologies
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障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
壓力異常
(過低)
變頻器異
常
無法順利控制 r oots
轉動頻率 請通知設備商前處置
變頻器異
常
未
畫面顯示 為線路鬆脫 電錶量測輸入電源確認線路
無鬆脫
餘顯示
異常
參考操作手冊提供
異常訊息 請通知設備商前處置
抽氣異常
PUMP 抽氣
效率變差
無法順利抽壓力感
測值設定值
壓力感測器未順利動作請
通知設備商處置
漏氣 腔體相關漏氣
漏氣嚴重時導致 PUMP 無法抽
低壓壓力感測器作動造成
異常請告知設備商確認
破氣異
常
壓力感測
器異常
無法順利達壓力
感測值設定值
壓力感測器未順利動作請
通知設備商更換新品處置
電磁閥異
常 閥門動作異常 非壓力感測器異常部分請通
知設備商更換新品處置
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三異常部分
障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
無法抽
真空
抽氣系統
異常
1 腔體門無關緊 將腔體門手拉起與卡榫扣合
2 腔體磁簧開關損
壞
將腔體門關後 PC 螢幕內
系統檢測 i nput 檢查腔體
門偵測否動作無動作
則磁簧開關已損壞
3 抽氣閥門無開
啟
P C 螢幕抽氣閥啟動選項並
確認電磁閥無作動確認高
壓空氣壓力為 4 ~6 kg cm 2
4 PUMP 無運轉
P C 螢幕乾式 PUMP 啟動選項
並確認 PUMP 電源線固定狀況
與轉否正確
5電磁閥無作動
1先 PC 螢幕內系統檢測
output 檢查控制閥門
否已動作
2手動方式電磁閥藍色
鈕確認否動作無
動作時則予更換新品
真空度變
差
1 漏氣
將系統抽氣 2 時
將閥與閥
關閉利漏率測試
檢測漏率否 02
1六角板手將接頭螺絲
與 dou b l e w a ll c l am p 確認鎖
緊
2手將 NW 4 0 c l am p 確認鎖緊
3檢查 ORING 否髒汙
灰塵將真空油保養後
裝回檢查 ORING 否已
經老化變形時需更換新
ORING
2 Out g a s
利漏率測試測試
兩個 c y c l e確認
否兩次漏率皆為
樣後次前
次漏率低則為
out g a s 現象
為 Out g a s 現象 則需將
腔體持續抽久點水氣出來
後
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障錯
誤訊息 原 初步檢查 檢查與排方式
無法讀取
腔體壓力
值
壓力偵測
系統異常
1壓力開關無訊
號
1檢查否設定錯誤導致無訊
號進入 P LC進開啟壓力計
前端氣動閥
2壓力計無讀值
1檢查 9 p i n 轉接板第三與第
四腳位(3 + 4)否 2 4 V 電
位
2檢查 9 p i n 轉接板第八第
九腳位(9 + 8)否電壓輸
出(電壓隨壓力變化)
無法抽進
氣與破
氣
閥門作動
異常
1機台無接高
壓空氣
將高壓空氣接頭接機台高壓
空氣輸入接頭
2 三點組合否
調設定壓力值
將輸入三點組合高壓空氣壓力
調 4 ~6 kg 間
3電磁閥無作動
手動方式電磁閥藍色
鈕確認否障需做更
換
4 氣動閥無作動 電磁閥確認氣動閥無作
動障需做更換
5破氣調壓閥
否調設定壓
力值
將破氣氣體調壓閥調 5 kg 左
右
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附錄附錄附錄附錄零件清單零件清單零件清單零件清單
P ar ts
N u mber 名稱 作功
P C0 4 0001 機械幫浦 抽真空範圍低真空
P C0 4 0002 魯氏幫浦 抽真空範圍中真空
P C0 4 0003 濾油器 過濾機械幫浦排出氣體將油濾
出
P C0 4 000 4 幫浦支撐架 幫浦載台輪子與腳撐幫浦
移動固定
P C0 4 0005 ISO 100KF 4 0ISO 63 三通 抽氣件固定於腔體外壁
P C0 4 0006 ISO 63 角閥 抽氣件快速抽真控閥門
P C0 4 0007 ISO 63KF 4 0 三通 抽氣件連結角閥與 soft
st ar t
P C0 4 000 8 氣動閥 抽氣件 soft st ar t 組件
P C0 4 0009 手動閥 抽氣件 soft st ar t 組件
調抽氣速率快慢
P C0 4 0010 KF 4 0 軟 緩衝手動閥與 ISO 63KF 4 0 三通
P C0 4 0011 ISO 63 O 型環 ISO 63 接頭型式封真空配件
P C0 4 0012 KF 4 0 O 型環 KF 4 0 接頭型式封真空配件
P C0 4 0013 ISO 63 固定鎖塊 固定 ISO 63 接頭配件
P C0 4 001 4 KF 4 0 固定鉗 固定 KF 4 0 接頭配件
P C0 4 0015 電磁閥1 提供角閥做動氣體
P C0 4 0016 電磁閥2 提供氣動閥做動氣體
P C0 4 0017 電磁閥3 提供破氣氣體
P C0 4 001 8 電磁閥4 提供 N up r o 氣動閥1 做動氣體
P C0 4 0019 電磁閥5 提供 N up r o 氣動閥2 做動氣體
P C0 4 0020 電磁閥6 未做動
P C0 4 0021 電磁閥7 未做動
P C0 4 0022 電磁閥8 開啟壓力計(C onv ec t r on ) 氣動閥
P C0 4 0023 電磁閥9 提供幫浦破氣 N up r o 氣動閥做
動氣體
P C0 4 002 4 電磁閥10 未做動
P C0 4 0025 N up r o 氣動閥1( NC) 流量計1 前端控制氣體
P C0 4 0026 N up r o 氣動閥2( NC) 流量計2 前端控制氣體
P C0 4 0027 N up r o 氣動閥3( NC) 破氣 Creating Nano Technologies
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P ar ts
N u mber 名稱 作功
P C0 4 002 8 N up r o 氣動閥4 (NC) 壓力計前端保護(暫定)
P C0 4 0029 N up r o 氣動閥(NO) 抽氣幫浦破氣
P C0 4 0030 流量計1Ar 設定 Ar 輸出流量
P C0 4 0031 流量計2H2 設定H2 輸出流量
P C0 4 0032 壓力計 偵測腔體內部壓力
P C0 4 0033 壓力偵測開關 提供壓力計開啟與破氣訊號
P C0 4 003 4 1 4i n 鋼接頭 SWG 連結廠務端製程氣體
P C0 4 0035 高壓空氣快速接頭 連結廠務端高壓空氣
P C0 4 0036 氮氣快速接頭 連結廠務端氮氣
P C0 4 0037 二點式三點組合 過濾 CDA 中水氣潤滑電磁閥
P C0 4 003 8 調壓閥1 設定 CD A 壓力值給破氣
P C0 4 0039 調壓閥2 設定 N2 壓力值給幫浦稀釋氧氣
P C0 4 00 4 0 散熱風扇(1) 機台散熱(腔體方)
P C0 4 00 4 1 散熱風扇(2) 機台散熱(幫浦方)
P C0 4 00 4 2 散熱風扇(3) 機台散熱(幫浦右側門框)
P C0 4 00 4 3 散熱風扇( 4 ) 機台散熱(幫浦後方板金)
P C0 4 00 44 觸控螢幕 員操作機台製程
P C0 4 00 4 5 面板開關(綠)ON 機台電源啟動開關
P C0 4 00 4 6 面板開關(紅)O FF 機台電源停止開關
P C0 4 00 4 7 蜂鳴器 異常時發出聲響警告
P C0 4 00 48 蜂鳴器 幫浦異常輸出作動
P C0 4 00 4 9 緊急鈕 機台緊急事件斷電
P C0 4 0050 磁簧開關1 機台保護
P C0 4 0051 磁簧開關2 機台保護
P C0 4 0052 磁簧開關3 機台保護
P C0 4 0053 磁簧開關4 機台保護
P C0 4 005 4 磁簧開關5 機台保護
P C0 4 0055 磁簧開關6 機台保護
P C0 4 0056 磁簧開關7 機台保護
P C0 4 0057 磁簧開關8 機台保護
P C0 4 005 8 磁簧開關9 機台保護
P C0 4 0059 磁簧開關10 機台保護
P C0 4 0060 三色燈 機台狀態燈號
P C0 4 0061 延長線開關 提供電漿電源
P C0 4 0062 隔離變壓器 隔離 POWE R 雜訊與保護電路控制
板 Creating Nano Technologies
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附錄二附錄二附錄二附錄二工圖工圖工圖工圖
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