超纯水系统工艺及其施工

超纯水系统工艺施工
超纯水系统总体介绍
着电子工业发展芯片生产加工程中水质求越越高保证生产出超规模集成电路高纯原材料高纯气体高纯化学药品外高纯水中关键素高纯水系统般市政水处理成离子含量颗粒度高求超纯水
超纯水系统总体说般分三部分：
超纯水制造区（CUB部分）
超纯水抛光循环区（FAB部分）
超纯水输送网（FAB区）
中超纯水制造区复杂分：预处理次纯水处理超纯水处理三部分
预处理部分包括：沙滤活性炭塔（厂商沙滤前增设反应槽气浮池）
次纯水部分包括：阴阳离子交换塔脱气塔（DG）保安滤器紫外线杀菌器级反渗透
超纯水部分包括：MDG（脱氧膜组）TOCUV杀菌器混床（MB）终端滤器
考虑工艺线设备输送高纯水程中输水道会水质次造成污染FAB般设立抛光循环系统抛光循环系统MB核心加超滤设备（UF）工艺生产线输送纯水程中网溶入水中杂质
二 超纯水系统中阶段常材
超纯水系统中材选非常重做保证水质应该做济合理超纯水系统中常材包括：PVCSGPSGP（RL）SUS304CPVCSUS316PVDF等材
般超纯水制造区预处理阶段采PVCSUS304设备面般采衬胶钢（SGP RL）水泵等产生震动动力设备周边采SUS304次纯水阶段流程采CPVCSUS304高压泵反渗透（RO）间压力高须采SCH80SUS304耐压20Mpa级法兰RO水温定求般RO前热交换器周边应采SUS304超纯水制造阶段流程般应采SUS316CPVC抛光循环区流程般采SUS316（焊接连接求双面成型）PVDF超纯水回收道采CPVC
水处理阶段废水排放道均采普通PVC纯水制造程中酸碱等加药线应采耐击PVC纯水系统中氮气系统采SUS304超纯水抛光系统氮气道采SUS316压缩空气系统纯水系统中作气动阀开关动力般采SUS304SGP采SGP时进入电气盘前需加滤器
三 超纯水系统施工
超纯水系统水站部分施工难度包括三部分：设备搬入安装架制作安装道安装设备移入定注意编制详细设备吊装方案特超重超易损设备千万野蛮险施工架台施工注意两环节：
1架台土建结构连接处定坚固采预埋铁板种种原预埋应化学铆栓固定梁应般简易膨胀螺栓切铁板简易膨胀螺栓固定楼板
2整段架定保持水免道架接触部位应力均匀引起道弯曲破损
水站道施工CDA氮气热交换器蒸汽冷热水道系统进行施工外站道施工分两部分架道施工设备周边配施工开工初期两部分时进行施工架直段设备体配完成应该设备周边道架
道进行连接配置终架道相连形成封闭路系统
超纯水系统道施工般动力道施工区保证道系统密闭性外更加重点施工程中定保证道洁净面谈谈超纯水系统中CPVC（氯化聚氯乙烯）PVDF（聚偏二氟乙烯）道特殊施工工艺
四 超纯水系统中CPVCPVDF道施工
CPVCPVDF材金属离子机碳析出微细粒子活菌繁殖等方面满足超纯水系统求材附件加工封装超洁净环境中进行两种道施工定特殊性
CPVC道粘接应采日产85号塑料胶水
道切割应采电动带锯式道切割锯旋转式割器量避免手锯（手锯切端毛刺难处理）切口毛刺定清干净端进行2~3毫米倒角免粘接时胶水刮入承口造成施工减粘接面道粘接部位泄漏件道粘接面涂胶定均匀涂胶前件面道外面先白布外表灰尘尘布沾丙酮进行脱脂清洗外更重点CPVC道洁净施工普通PVC道施工区
CPVC道粘接施工严格说应该洁净间进行采法兰现场连接施工现场种种特殊情况道现场进行料粘接安装需注意现场施工时施工区域相干净（灰尘）粘接施工时禁止面进行应加工台进行粘接操作
施工时定戴专洁净次性手套施工程中禁止徒手接触道壁（手油脂粘壁难洗干净）道插入时紧线器划线确认插入深度否足够法兰间密封材料应PTFE（聚四氟乙烯）堆放场需垫彩条布塑料薄膜
道进行保护
PVDF道全部采焊接连接
施工程中操作程更注意洁净时施工环境求更加严格
PVDF道焊接必须洁净室进行般房间进行施工进入洁净加工间必须换专鞋口附件洁净间外必须封口外露件包装材料必须施工前开封焊接操作时必须带次性洁净PVC手套焊接前必须异丙醇酒精丙酮端进行脱脂清洗清洗布采尘洁净布干净尘布时更换辅助焊接员须带洁净棉手套焊口焊完必须时进行外观检查求焊口四周焊露高低均匀高道外壁
PVDF道焊完必须时口进行封扎运现场采法兰连接法兰间密封材料采PTFE道安装时先现场量取尺寸绘制详细安装加工图专进行道焊接加工焊接安装员负责提高工作效益
五 总
总超纯水系统施工程中满足道系统密闭求外更重注意提高施工员洁净意识觉洁净道施工求做根水处理阶段求进行施工避免施工道造成污染处理水质达业求引起质量事发生
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